摘要：
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網頁魅影直播/CNT ALD systems have been used to study a variety of high-k dielectric materials including Al2O3, HfO2, Ta2O5, TiO2, and ZrO2. The flexibility of the ALD technique allows for tweaking of film properties through combination of films, ie AlTiO, HfSiO, etc., or through the incorporation of nitrogen in such films as AlON, HfON, and ZrON.
網 頁 mei ying zhi bo / C N T A L D s y s t e m s h a v e b e e n u s e d t o s t u d y a v a r i e t y o f h i g h - k d i e l e c t r i c m a t e r i a l s i n c l u d i n g A l 2 O 3 , H f O 2 , T a 2 O 5 , T i O 2 , a n d Z r O 2 . T h e f l e x i b i l i t y o f t h e A L D t e c h n i q u e a l l o w s f o r t w e a k i n g o f f i l m p r o p e r t i e s t h r o u g h c o m b i n a t i o n o f f i l m s , i e A l T i O , H f S i O , e t c . , o r t h r o u g h t h e i n c o r p o r a t i o n o f n i t r o g e n i n s u c h f i l m s a s A l O N , H f O N , a n d Z r O N .
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